東方晶源國內首臺關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）出機中芯國際

近日，國內半導體制造良率管理設備廠商東方晶源在北京總部舉行了國內首臺關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）出機儀式，正式宣布斬獲訂單并出機中芯國際。東方晶源董事長俞宗強博士、總經理蔣俊海先生，北京市經信委、亦莊管委會、國家02專項以及東方晶源客戶、股東、投資方等代表出席了此次活動，共同見證了這一重要時刻。此次出機儀式，標志東方晶源繼2019年攻克電子束缺陷檢測技術后，再一次取得了重大產品技術突破，填補了國內關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）的市場空白。

據悉，此次出機的關鍵尺寸量測設備（型號：SEpA-c410）面向300mm硅片工藝制程，通過先進的電子束成像系統和高速硅片傳輸方案，搭配精準的量測算法，可實現高重復精度、高分辨率及高產能的關鍵尺寸量測。進駐中芯國際后，將通過實際產線驗證，進一步提升、完善設備性能，向產業化目標整體邁進。

中芯國際是世界領先的集成電路晶圓代工企業之一，也是中國內地技術最先進、配套最完善、規模最大的集成電路制造企業集團，提供0.35微米到14納米不同技術節點的晶圓代工與技術服務，在先進制程探索、設備多元化方面等方面走在行業前列。東方晶源繼首臺電子束缺陷檢測設備進駐中芯國際產線后，首臺關鍵尺寸量測設備能夠進入中芯國際12英寸產線驗證，說明其研發實力已獲得行業高度認可，是我國集成電路制造自主可控的重要組成。

東方晶源自成立以來，專注于芯片制造關鍵環節的良率控制和提升領域。在北京市經信委、亦莊管委會、合作伙伴和投資方的共同支持下，不斷取得重要產品技術突破，公司旗下計算光刻系列軟件（OPC）、電子束缺陷檢測設備（EBI）均已經過國際大廠產線驗證并實現訂單收入，在國產化設備領域取得了矚目的成績。此次出機，東方晶源在良率控制產品線添加了至關重要的一環，也解決了我國在芯片制造領域中又一項“卡脖子”難題。中芯國際與東方晶源作為各自領域的優秀代表，進一步加強了戰略合作關系，是半導體產業鏈上下游產研與應用合作的典范。

目前，半導體設備市場主要被國外巨頭壟斷，行業集中度很高，是我國半導體產業被“卡脖子”的關鍵所在，因此國產化替代對國家科技創新的意義重大。東方晶源俞宗強董事長表示：國產半導體設備的快速發展，除了國家政策、研發資金、人才培養等方面的大力投入，更需要晶圓代工廠的實際使用和驗證完善。目前，東方晶源已經和國內大部分有市場影響力的晶圓代工企業建立了合作關系。未來，希望更多的晶圓代工企業對國產設備廠商保持更加開放的心態，為優質國產芯片設備供應商提供可以驗證技術、實現產業化的平臺，共同攜手突破國外技術壟斷，推動我國半導體產業鏈實現全面自主可控，配合國家實現在半導體領域的戰略布局。

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